全氟橡胶密封圈
适用范围:
全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用， 运用范围包含薄膜制程中之PVC， CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。
全氟橡胶还具有优异的气密性（耐真空度可达1.33X10-7-1.33X10-8pa)和高洁净性以及耐离子体性，这些特点在半导体行业的应用也非常广泛
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